SMG26系列-微型光栅 SMG26系列-微型光栅特点: 体积小,结构紧凑;适用于超高真空使用;良好的耐高温性,最高可达100°C;精度高,绝对精度±3μm(20°C);采用玻璃栅尺,膨胀系数小,读数稳定性良好;分辨率高,...